氦质谱检漏原理及方法电厂用氦质谱进行真空系统检漏一般有两种方法,即真空法和吸枪法。本次试验采用真空法,所用仪器为日本真空公司生产的HELIOT303AS电厂专用型氦质谱真空检漏仪,现场测试时,先把真空泵前空气管真空表阀门关闭,拆下真空表,接上检漏仪的连接管路,开启检漏仪,检漏仪经过自检过程,进入检漏的待检状态,将气流方式设置为大漏气流模式,这时分别打开测试口电磁阀和旁路电磁阀,打开真空表前手动门,控制调节阀开度,调整测试口的压强在100Pa左右,然后便可进行漏点漏率的测试。
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