高压电源在ESD卡盘系统中的应用

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高压电源在ESD卡盘系统中的应用

本帖由星友0409发布于2023-06-14 10:42:22174次浏览0人跟帖

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星友0409
2023年06月14日
 

ESD卡盘系统由卡盘、电源、控制器、接口电缆、配件等组成,而电源作为整个系统的核心部件,高压电源更是实现静电卡盘高效工作的关键要素。高压电源的作用是为静电卡盘提供所需的电力支持,以产生电压和电流来夹紧和释放工件。在ESD卡盘系统中通常采用DC-DC变换器来实现高压电源的构建。要满足静电卡盘的工作要求,高压电源通常需要具备以下几个要求;1. 常静电压:静电卡盘需要保持稳定的电压,因此需要高压电源具备较高的输出稳定性和精度。一般而言,常静电压的误差应小于10%。2. 工作电流:静电卡盘需要具备一定的输出电流能力,高压电源的输出电流应能够满足不同静电卡盘的夹紧与释放工作需要。3. 高压调节:高压电源需要能够根据不同静电卡盘的工作要求调节电压大小,反馈控制电路是实现该功能的一种有效方式。4. 其他要求:高压电源在电源体积和重量、温度范围、寿命、安全性、EMI/EMC等性能指标方面也需要考虑到。因此,ESD卡盘系统中高压电源的要求是比较严苛的。高品质高压电源能够保证静电卡盘的精密夹紧和释放,保证系统的工作可靠性和稳定性。同时,高压电源具备较大的灵活性和可调节性,能够满足不同工作要求的静电卡盘的需求。我是爱分享光电知识的——跃迁光电,希望本篇文章能对大家有所帮助。 “跃迁光电”是一站式光电产品网络商城。厂家不但生产高压直流电源,还可以根据客户的需求进行开发设计,量身定制高压直流电源。同时“跃迁光电”的产品还具有体积小、使用简单、功能多、品种齐全、保护完善、控制灵活的优势。截止到2022年,“跃迁光电”的产品已经扩大到12个品类,产品应用于科学、环保、工业等多个领域。现在“跃迁光电”的总部设在北京,同时在上海、苏州都设有办事处,“跃迁光电”的销售网络已经遍及全国。同时“跃迁光电”的产品也已经销往欧洲、美国、日本等国。“科技打造精品,诚信铸就未来”,跃迁人将为电源行业的发展和应用而不懈努力,——欢迎与我们联系洽谈。

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