磁控溅射镀膜电源的分类

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磁控溅射镀膜电源的分类

本贴由 星友0409 发布于 2023-09-13 16:17:53 763次浏览0人跟贴

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星友0409
2023年09月13日
 

一、静电电源静电电源是指将静电场产生的放电作为蒸发靶材的动力,使靶材表面产生等离子体,从而实现表面镀膜。静电电源的优点是适用于大面积镀膜,且所需电源较小,但其缺点是蒸发效率较低,镀膜厚度难以控制。二、磁控电源磁控电源是通过磁场来加速靶材表面材料的离子化,将靶材表面的原子或离子蒸发出来,从而实现表面镀膜。磁控电源具有高效、高精度、易于控制等优点,适用于对镀层质量和厚度要求高的场合,但电源较大,造价也更高。三、反馈磁控电源反馈磁控电源是磁控电源的升级版,它通过在磁控过程中实时监测工作气体、靶材表面等多种参数,通过反馈调整电源输出,进一步提高了镀层的精度和稳定性。四、高频电源高频电源是通过高频电流产生的电磁场来加速靶材表面材料,从而实现表面镀膜。相比传统的磁控电源,高频电源具有更高的蒸发效率和更高的镀层密度,但也更加耗电。总的来说,磁控溅射镀膜技术可以根据靶材所接的电源类型进行分类。各种电源的优缺点不同,应根据具体的需求进行选择。我是爱分享光电知识的——跃迁光电,希望本篇文章能对大家有所帮助。 “跃迁光电”是一站式光电产品网络商城。厂家不但生产高压直流电源,还可以根据客户的需求进行开发设计,量身定制高压直流电源。同时“跃迁光电”的产品还具有体积小、使用简单、功能多、品种齐全、保护完善、控制灵活的优势。截止到2023年,“跃迁光电”的产品已经扩大到12个品类,产品应用于科学、环保、工业等多个领域。现在“跃迁光电”的总部设在北京,同时在上海、苏州都设有办事处,“跃迁光电”的销售网络已经遍及全国。同时“跃迁光电”的产品也已经销往欧洲、美国、日本等国。“科技打造精品,诚信铸就未来”,跃迁人将为电源行业的发展和应用而不懈努力,——欢迎与我们联系洽谈。

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