2024中国(合肥)国际水利科技博览会 2024.12.11-13合肥滨湖国际会展中心展展会简介 安徽是典型的河湖大省、水利大省、水运
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薄膜沉积是在半导体的主要衬底材料上镀一层膜。这层膜可以有各种各样的材料,比如绝缘化合物二氧化硅,半导体多晶硅、金属铜等。用来镀膜的这个设备就叫薄膜沉积设备。薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类:物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD),其中CVD工艺设备占比更高。化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition简称CVD)是利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上发生反应生成固
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